می تواند برای گرم کردن و تبخیر آلاینده های فلزی، ترکیبات آلی فلزی،هیدروکربن ها و سایر منابع واکنش تحت فشار خاص برای تولید رسوب جامد در سطح مواد هدفهمچنین برای رسوب بخار شیمیایی مواد کامپوزیت با گاز هیدروکربن (مانند C3H8، و غیره) به عنوان منبع کربن، مانند مواد کامپوزیت C / C، کامپوزیت SiC استفاده می شود.
مواد، CVD، پردازش CVI.