حالت قفل درب کوره رسوب خلاء برای گرافیت و دستگاه های نیمه هادی

کوره رسوب خلاء برای آماده سازی مواد کامپوزیت کربن کربن استفاده می شود.و کوره رسوب به طور عمده برای آماده سازی پوشش کربن پیرولیتیک بر روی سطح گرافیت استفاده می شود، دستگاه های نیمه هادی و مواد مقاوم به گرما.

حوزه کاربرد:

گرافيت، دستگاه هاي نيمه رسان، مواد ضد گرما

1پارامترهای اساسی:

1) دمای طراحی: 1250°C/1650°C/1800°C/2200°C

2) دمای مشترک: 900~1200°C

3) درجه خلاء: < 50Pa

4) سرعت افزایش فشار: 6.67pA / h ((یا 150Pa / 24h) در حالت سرد کوره خالی

5) حالت گرمایش: گرمایش مقاومت گرافیت یا گرمایش تحرک، کنترل درجه حرارت مستقل، یکپارچگی درجه حرارت خوب

6) محیط اتمسفر: خلاء /CH4 / C3H6 / H2 / N2 / Ar

7) حالت کنترل گاز: کنترل جریان سنج جرم، مسیر گاز چند کانال، میدان جریان یکنواخت، هیچ زاویه مرده رسوب، اثر رسوب خوب

سیستم تصفیه گازهای خروجی چند مرحله ای و کارآمد، سازگار با محیط زیست، آسان برای تمیز کردن

8) نوع کوره: ساختار مربع، گرد، عمودی یا افقی (طراحی غیر استاندارد) ، اتاق رسوب کاملا بسته، اثر مهر و موم خوب، توانایی قوی ضد آلودگی؛

9) حالت خنک کننده کوره: خنک کننده آب پوسته کوره، سیستم خنک کننده سریع گردش خارجی می تواند انتخاب شود، زمان خنک کننده کوتاه، کارایی تولید بالا؛

2ساختار کوره خلاء:

شکل ساختار: تخلیه افقی - جانبی، تخلیه عمودی - بالا / پایین

حالت قفل درب کوره: دستی/خودکار

مواد پوسته کوره: فولاد ضد زنگ داخلی/تمام فولاد ضد زنگ

مواد عایق بندی: فیلت کربن/فیلت گرافیت/فیلت کربن فیبر

مواد گرمایش، مواد کف: گرافیت / CFC

ابزار مادون قرمز: تک رنگ سنجی/ دو رنگ سنجی

منبع برق: KGPS/IGBT ((تنها برای گرمایش فرکانس متوسط مناسب است)

مشخصات محصول: