تجهیزات رسوب کوره CVD برای آماده سازی مواد نیمه هادی فیلم نازک

جزئیات محصول

نام تجاری: Jingtan

گواهی: CE

شرایط پرداخت و حمل و نقل

مقدار حداقل تعداد سفارش: 1 مجموعه

قیمت: USD12,000-100,000/SET

جزئیات بسته بندی: بسته بندی جعبه چوبی

زمان تحویل: ۶۰ روز

شرایط پرداخت: l/c/t/t

قابلیت ارائه: 30 قطعه/قطعه در هر ربع

بهترین قیمت رو بدست بیار

حالا تماس بگیرید

مشخصات

توضیحات

مشخصات

برجسته کردن: 
                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                                              تجهیزات رسوب برای مواد نیمه هادی,کوره CVD برای مواد نیمه هادی, CVD Furnace For Semiconductor Material
                                                  

محل اصلی:	هونان، چین	نوع:	کوره القایی
استفاده:	کوره رسوب دهی	بازرسی تصویری:	ارائه شده
گزارش آزمایش ماشین:	ارائه شده	اجزای اصلی:	PLC
brand name:	Jingtan	ولتاژ:	380
وزن (t):	2 ت	توان (کیلو وات):	220
نکات کلیدی فروش:	قیمت رقابتی	دمای طراحی (℃):	1250-2200
دمای پوشیدن:	900-1200 ℃	نرخ افزایش فشار (Pa/h):	0.67Pa/h (150Pa/24h)
روش گرم کردن:	مقاومت/القاء	محیط کاری:	خلاء/CH4/C3H6/H2/N2/Ar
نوع کوره:	مربع / گرد عمودی / افقی	حالت خنک کننده کوره:	آب خنک کننده پوسته کوره
ابزار مادون قرمز:	رنگ سنجی تک/دو	یکنواختی دما:	± 5
درجه خلاء محدود (Pa):	1-100	نوع بازاریابی:	محصول معمولی
ضمانت اجزای اصلی:	1 سال	صنایع قابل استفاده:	دیگر، نیمه هادی

محل اصلی:	هونان، چین
نوع:	کوره القایی
استفاده:	کوره رسوب دهی
بازرسی تصویری:	ارائه شده
گزارش آزمایش ماشین:	ارائه شده
اجزای اصلی:	PLC
brand name:	Jingtan
ولتاژ:	380
وزن (t):	2 ت
توان (کیلو وات):	220
نکات کلیدی فروش:	قیمت رقابتی
دمای طراحی (℃):	1250-2200
دمای پوشیدن:	900-1200 ℃
نرخ افزایش فشار (Pa/h):	0.67Pa/h (150Pa/24h)
روش گرم کردن:	مقاومت/القاء
محیط کاری:	خلاء/CH4/C3H6/H2/N2/Ar
نوع کوره:	مربع / گرد عمودی / افقی
حالت خنک کننده کوره:	آب خنک کننده پوسته کوره
ابزار مادون قرمز:	رنگ سنجی تک/دو
یکنواختی دما:	± 5
درجه خلاء محدود (Pa):	1-100
نوع بازاریابی:	محصول معمولی
ضمانت اجزای اصلی:	1 سال
صنایع قابل استفاده:	دیگر، نیمه هادی

توضیحات

تجهیزات رسوب کوره CVD برای آماده سازی مواد نیمه هادی فیلم نازک

مشخصات:

کوره ی خلاء:

به طور عمده برای آماده سازی مواد کامپوزیت کربن-کربن استفاده می شود و کوره رسوب به طور عمده برای آماده سازی پوشش کربن پیرولیتیک بر روی سطح گرافیت استفاده می شود.دستگاه های نیمه هادی و مواد ضد گرما.

پارامتر / شماره مدل	JT-0305-C	JT-0505-C	JT-0608-C	JT-0608-C	JT-0812-C	JT-1120-C	JT-1218-C	JT-1520-C
اندازه منطقه کاری φ × H ((ملی متر)	۳۰۰×۵۰۰	500×500	600×800	600×1200	800×1200	1100×2000	1200×1800	1500×2000
بالاترین دمای (°C)	2300	2300	2300	2300	2300	2300	2300	2300
یکسانی دمایی ((°C)	±5	±5	±5/±75	±7.5/±10	±7.5/±10	±10/±15	±10/±15	± 15 / ± 20
درجه خلاء مرزی ((Pa)	1 تا 100	1 تا 100	1 تا 100	1 تا 100	1 تا 100	1 تا 100	1 تا 100	1 تا 100
درجه خلاء مرزی ((Pa)	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67	0.67
روش گرمایش	مقاومت/حرکت	مقاومت/حرکت	مقاومت/حرکت	مقاومت/حرکت	مقاومت/حرکت	مقاومت/حرکت	مقاومت/حرکت	مقاومت/حرکت

دمای طراحی	1250°C/1650°C/1800°C/2200°C
دمای مشترک	۹۰۰ تا ۱۲۰۰ درجه سانتیگراد
درجه خلاء	< 50Pa
سرعت افزایش فشار	6.67pA /h ((یا 150Pa / 24h) در حالت سرد کوره خالی
حالت گرمایش	گرمایش مقاومتی گرافیتی یا گرمایش تحرک، کنترل درجه حرارت مستقل، یکسانی درجه حرارت خوب
محیط اتمسفر	خلاء /CH4/C3H6/H2/N2/Ar

حالت کنترل گاز	کنترل جریان سنج جرم، مسیر گاز چند کانال، میدان جریان یکنواخت، هیچ زاویه مرده رسوب، اثر خوب رسوب؛سیستم تصفیه گازهای خروجی چند مرحله ای و کارآمد، سازگار با محیط زیست،آسان برای تمیز کردن
نوع کوره	ساختار مربع، گرد، عمودی یا افقی (طراحی غیر استاندارد) ، اتاق رسوب کاملا بسته، اثر مهر و موم خوب، قابلیت قوی ضد آلودگی
حالت خنک کننده کوره	خنک کننده آب کوره، سیستم خنک کننده سریع گردش خارجی می تواند انتخاب شود، زمان خنک کننده کوتاه، تولید بالا بهره وری

شکل ساختار	تخلیه افقی - جانبی، عمودی - بالا / پایین
حالت قفل	دستی/خودکار
مواد پوسته	فولاد ضد زنگ داخلی/همه فولاد ضد زنگ
مواد عایق	فیلت کربن/فیلت گرافیت/فیلت خشک شده از فیبر کربن
ابزار مادون قرمز	رنگ سنجی تک رنگ / رنگ سنجی دو رنگ
منبع برق	KGPS/IGBT ((تنها برای گرمایش فرکانس متوسط مناسب است) پارامتر محصول: