کوره رسوب بخار شیمیایی برای ترکیبات آلی فلزی مواد مرکب SiC

کوره رسوب بخار می تواند برای گرم کردن و تبخیر هالاید فلزی، ترکیبات آلی فلزی،هیدروکربن ها و سایر منابع واکنش تحت فشار خاص برای تولید رسوب جامد در سطح مواد هدفهمچنین برای رسوب بخار شیمیایی مواد کامپوزیت با گاز هیدروکربن (مانند C3H8، و غیره) به عنوان منبع کربن، مانند مواد کامپوزیت C / C، مواد کامپوزیت SiC، CVD استفاده می شود.پردازش CVI.

ویژگی ها:

1) در دمای متوسط یا بالا، مواد جامد از طریق واکنش شیمیایی در مرحله گازی بین ترکیبات اولیه در مرحله گازی شکل می گیرند و بر روی ماتریس قرار می گیرند.

2) می تواند تحت فشار اتمسفر یا شرایط خلاء قرار گیرد (ضغط منفی، معمولا کیفیت فیلم تخلیه خلاء بهتر است).

3) استفاده از پلاسمای و تکنولوژی با کمک لیزر می تواند واکنش شیمیایی را به طور قابل توجهی ترویج کند، به طوری که رسوب در دمای پایین تر انجام می شود.

4) ترکیب شیمیایی پوشش می تواند با تغییر ترکیب فاز گازی تغییر کند، به طوری که رسوب گرادینتی یا پوشش مخلوط بدست آید.

5) می تواند چگالی پوشش و خلوص پوشش را کنترل کند.

6) در اطراف قطعات پوشش داده شده. آن را می توان بر روی ماتریس شکل پیچیده و مواد دانه ای پوشش داد. مناسب برای پوشش انواع اشکال پیچیده قطعه کار است. به دلیل عملکرد پوشش خوب آن،مي تونه با شکاف ها پوشش داده بشه، شکاف ها، سوراخ ها و حتی سوراخ های کور قطعه کار.

7) لایه رسوب شده معمولا ساختار کریستالی ستون دار دارد و در برابر خم شدن مقاوم نیست.اما ساختار آن را می توان با اختلال فاز گازی واکنش شیمیایی از طریق تکنیک های مختلف بهبود بخشید..

8) می تواند پوشش های مختلف فلزی، آلیاژ، سرامیکی و ترکیبی را از طریق واکنش های مختلف تشکیل دهد.